论文编号:DQ130论文字数:12498,页数:38
摘 要
光电编码器广泛用于各种高精度速度、位移测量场合。采用光电转换技术可将机械轴的角位置信息转化成相应的数字代码输出,因而可实现对角度、速度、直线位移和其他机械物理量的测量。随着光刻技术的飞速发展以及大批量生产的开始,光电编码器的精度以及其他技术指标也获得大幅..
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