修正静电力的多晶硅扭转微镜动态特性与ANSYS有限元建模得到结果的比较

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摘要
 本文描述修正静电力的多晶硅扭转微镜状态。静电状态的计算是通过使用有限元ANSYS程序计算耦合力学和静电。动态挠度测量在微镜上的实现确认了仿真的结果。此外，该动态阻尼的行为是调查多晶硅扭转微镜。压力依靠微镜工作是有标准，而且已经提出了和气体阻尼的比较。
1.介绍
 近年来对微传感和引动器的发展关注的越来越多。减少时间在微机械激励者目标的实现要求和应用标准技术一样之间，就像体积和表面微机械加工作为提出某些预测行为的装置。
在最近几年, 有限元方法 (FEM)已经被作为一个强有力的工具应用在建模工程领域和微机械领域中。使用有限元方法，机电行为有可能加以分析和优化过程。ANSYS，ANSYS的公司的一个产品，许可5.1版的机械和静电用单独的有限元计算。这项新功能，使用户可以用标准程序描述静电场的复杂结构。本文探讨的静电偏转的多晶硅扭转微镜行为并介绍了应用有限元模拟利用ANSYS程序预测的装置。静电扭转微镜行为是用来计算和比较 同一个分析模型和动态挠度测量。此外，微镜动态行为的可以当作介绍和比较空气压力与挤压膜理论的功能。

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