论文编号:WLX025 字数:8750,页数:19
摘 要
金属薄膜的物性及特性研究始终是关注的热点。对于金属薄膜而言,膜薄厚度是一个非常重要的特征尺寸,直接影响薄膜的使用特性,而几乎所有的薄膜特性又都与膜厚有关,尤其是厚度较小的薄膜,其特性还将出现明显的尺寸效应,所以膜厚的测量变得尤为重要。本文先介绍了有关薄膜背..
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