论文编号:WLX115 字数:18775,页数:29
摘 要
通过对真空获得与真空镀膜的理论学习与实验研究,了解了真空与真空镀膜的发展历程、应用现状、以及它们在各个领域的前景。本文介绍了真空获得与真空镀膜的各方面知识、一般的真空获得方法和常用的镀膜方法、以及各自的优缺点。实验过程采用DH2010多功能真空实验仪,在获得一定..
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