半导体芯片打高压水及电解脱脂工艺的合并

摘  要

本设计主要是对半导体芯片进行高压水扫射、电解脱脂两道工艺的合并。在设计的过程中对两道工艺合并后，中间加了一个过渡的工艺槽，内部又分三道简单的工艺处理。对后面的工艺中的溶液和机械部分起到了保护的作用。而且还增加了抽风排气系统，对员工的工作环境起到了改善，对员工的身体健康也是一种负责。集两道工艺于一体，大大节约了机器的占地空间。该设计使得生产更加的快捷、方便。即节约了生产的时间，又节约了劳动力资源，使生产周期缩短，生产效率以及机器的使用率得到了明显的提高。即保证了产品的合格性，又在优良率不受影响的前提下，保证了公司整个生产线的顺利运行。

关键词:

       半导体芯片, 高压水扫射, 电解脱脂.

目   录

论 文 摘 要………………………………………………………………………-1-

ABSTRACT………………………………………………………………………-2-

目     录…………………………………………………………………………-3-

第一章   概 论……………………………………………………………………1

第一节  设计和研发的背景及意义…………………………………………2

1.1.1半导体打高压水和（电解脱脂）在本公司的发展历程…………2

1.1.2设计和研发背景……………………………………………………3

1.1.3设计和研发的意义…………………………………………………4

1.1.4设计和研究的基本内容……………………………………………4

第二节 半导体芯片经过高压水扫射的作用……………………………… 5

1.2.1对料片和产品的简单认识……………………………………… 5

1.2.2 产品经过高压水扫射的作用…………………………………… 6

第三节  半导体芯片经过电解脱脂的作用…………………………………7

第二章  设计的工艺参数要求

第一节  电解脱脂的设计参数要求…………………………………………8

第二节  高压水扫射工艺槽的设计参数要求………………………………10

第三节  过渡防污染工艺槽的设计参数要求………………………………12

第三章  电解脱脂电源的原理及选择

第一节  高频开关电源原理…………………………………………………13

3.1.1高频开关电源的组成部分………………………………………13

3.1.2高频开关电源的发展及发展趋势………………………………15

3.1.3设计中对高频开关电源的选择…………………………………16

第四章  设计机器中的部件选用及材料分析

第一节  PPE材料的介绍……………………………………………………21

4.1.1 PPE材料的发展……………………………………………………21

4.1.2 PPE材料在现代的发展及应用领域………………………………23

第二节  电解脱脂储液槽中的加热器………………………………………27

4.2.1加热器的要求及分类……………………………………………27

4.2.2Ti表面镀钛合金金属加热器………………………………………28

4.2.3S/S Teflon 不锈钢外套特氟纶防腐层加热器……………………29

4.2.4加热器的选用……………………………………………………35

第三节  传感器（Sensor）……………………………………………………36

4.3.1传感器定义、发展及应用…………………………………………36

4.3.2液位传感器………………………………………………………41

4.3.3卡料传感器和掉料传感器………………………………………43

附   录

附录一  高压水储液槽简图…………………………………………………45

附录二  电解脱脂储液槽简图………………………………………………46

附录三  电解脱脂管路布置简图……………………………………………47

附录四  电解脱脂储液槽及过滤循环系统…………………………………48

文档设计心德………………………………………………………………………49

谢辞…………………………………………………………………………………50

参考文献……………………………………………………………………………51