论文编号:CL118 论文字数:15117,页数:36
摘 要
氧化硅薄膜良好的硬度、光学性能、介电性质、耐磨及抗蚀等特性,在光学、微电子等领域有着广泛的应用前景,是目前国际上广泛关注的功能材料。氧化硅有两个突出的用途:它的绝缘性可以作为保护膜使p-n结免受周围环境杂质的污染;此外,可以用作稳定的、高温掩膜阻隔材料,能..
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