论文编号:WLX121 字数:9164,页数:18
摘 要
随着市场对各种新型功能薄膜需求的日益增加,溅射技术在科学研究和工业生产领域获得迅速发展。为了解溅射法制备金属薄膜的过程及其特性研究,采用直流二极溅射设备在玻璃基片上镀金膜,并对所获得的金属薄膜的厚度、电学性能、均匀性、重复性等进行实验测试。使用称重法,分析..
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